加速电压为0.5kV至30kV，放大倍数 5至300,000x，二次电子分辨率为3nm（30kV），背散射分辨率为4nm（30kV）

功能：

扫描电镜可对金属、陶瓷、矿物、岩石、生物等样品以及各种固体材料进行观察和分析研究。配合X-射线能量色散谱仪(EDS)，可进行微区的常量元素定性和定量分析。

用于化学化工、材料等领域观察物质的形貌、尺寸、分布情况以及微区成分分析。