2月15日在全市科技创新平台高质量发展座谈会上，南通南京大学材料工程技术研究院院长吴小山与中天科技集团副总工程师曹珊珊签订产学研合作项目--DUV光刻用石英玻璃缺陷动力学行为与控制技术项目。
该项目解决石英气相沉积流体动力学与温场设计、二氧化硅分子结构缺陷生长、抑制与补偿技术、准分子激光辐照下合成石英分子动力学的基础性研究问题困难，技术达到国际领先水平，替代进口光刻用石英，市场需求旺盛，提出缺陷控制的耐辐照合成石英沉积技术，发展检测新方法，为高端半导体光刻用合成石英材料沉积提供理论方法支撑。
通过合作签约，推动双方产学研深度融合，充分发挥校企各自优势，共克关键技术性难题，推进双方事业共同发展。
